一种磨针台及探针台
授权
摘要
本实用新型公开了一种磨针台及探针台。一种磨针台,压电陶瓷部连接于设置有导向部的磨针部,所述压电陶瓷部驱动所述磨针部沿导向部往复运动。一种探针台,所述探针台设置有上述的磨针台。本实用新型的有益效果在于,结构简单,清针效率高。
基本信息
专利标题 :
一种磨针台及探针台
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021296869.2
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-07-06
授权号 :
CN212762766U
授权日 :
2021-03-23
发明人 :
吴贵阳
申请人 :
矽电半导体设备(深圳)股份有限公司
申请人地址 :
广东省深圳市龙岗区龙城街道黄阁坑社区龙城工业园3号厂房三楼东区、五楼中西区
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN202021296869.2
主分类号 :
B24B27/033
IPC分类号 :
B24B27/033 B24B19/16 B24B47/12 B24B41/02
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B24
磨削;抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺(用电蚀入B23H;磨料或有关喷射入B24C;电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00;磨具磨损表面的修理或调节;磨削,抛光剂或研磨剂的进给
B24B27/00
其他磨床或装置
B24B27/033
用于清理目的的磨削表面,如清除氧化皮或磨掉表面裂纹
法律状态
2021-03-23 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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