一种探针台
授权
摘要
本实用新型属于晶圆检测的技术领域，涉及一种探针台，其包括探针台本体、开设于探针台本体上的放卡槽，所述探针台本体上开设有滑槽，所述滑槽沿竖直方向设置，所述滑槽沿垂直于地面方向设置，所述滑槽与放卡槽贯通连接，所述滑槽中滑动连接有滑块，所述探针台本体上开设有用于移动滑块的驱动装置，所述滑块的侧壁上开设有容纳槽，所述容纳槽与放卡槽贯通连接，所述容纳槽的侧壁上固定连接有用于支撑探针卡的承接板；本实用新型具有能够对不同长度的探针卡进行放置，有利于晶圆的正常检测的效果。
基本信息
专利标题 ：
一种探针台
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920882035.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-06-12
授权号 ：
CN210376580U
授权日 ：
2020-04-21
发明人 ：
陈超
申请人 ：
无锡新微阳科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市新吴区珠江路49-1号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN201920882035.0
主分类号 ：
G01R31/26
IPC分类号 ：
G01R31/26 G01R1/073
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01R
测量电变量；测量磁变量
G01R31/26
•单个半导体器件的测试
法律状态
2020-04-21 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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