一种改善的半导体器件的背部开封方法
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摘要
本发明公开了一种改善的半导体器件的背部开封方法,包括以下步骤:激光开封步骤:使用激光对半导体器件背面进行处理以去除半导体器件背部的模封体,直至封装于半导体器件内部的框架裸露出来;酸反应步骤:采用浓度为第一预设数值的硝酸去除铜框架;第一研磨步骤:采用粒度号为第二预设数值的砂纸进行研磨以使得芯片中的硅衬底减薄至预设高度。本发明的改善的半导体器件的背部开封方法针对于半导体器件中不同材质的不同层依次采用激光、酸反应以及研磨的方法来进行分层处理,不仅提高整个半导体器件背部开封的处理速度;且增大了芯片与铜框架之间相距较近的半导体器件的背部观测范围,进一步提升了芯片的观测效果。
基本信息
专利标题 :
一种改善的半导体器件的背部开封方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN110618004A
申请号 :
CN201910807607.3
公开(公告)日 :
2019-12-27
申请日 :
2019-08-29
授权号 :
CN110618004B
授权日 :
2022-04-01
发明人 :
龚瑜
申请人 :
深圳赛意法微电子有限公司
申请人地址 :
广东省深圳市福田区福保街道福田保税区桃花路16号
代理机构 :
广州市越秀区哲力专利商标事务所(普通合伙)
代理人 :
杨艳
优先权 :
CN201910807607.3
主分类号 :
G01N1/28
IPC分类号 :
G01N1/28 G01N1/44 G01R31/265
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N1/00
取样;制备测试用的样品
G01N1/28
测试用样品的制备
法律状态
2022-04-01 :
授权
2020-01-21 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01N 1/28
申请日 : 20190829
申请日 : 20190829
2019-12-27 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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