一种针卡调节装置及探针台
授权
摘要
本实用新型公开了一种针卡调节装置及探针台。一种针卡调节装置包括，机架；针卡安装部，用于安装针卡；沿竖直方向运动连接于机架；驱动部，驱动部的输出端连接于针卡安装部，用于控制针卡安装部的升降运动；一种探针台包括所述针卡调节装置；从而保证了晶圆的平整度，提高了LED芯粒或半导体芯粒测试的准确性。
基本信息
专利标题 ：
一种针卡调节装置及探针台
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021962074.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-10
授权号 ：
CN213240278U
授权日 ：
2021-05-18
发明人 ：
李景均韦日文杨应俊刘振辉
申请人 ：
矽电半导体设备（深圳）股份有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市龙岗区龙城街道黄阁坑社区龙城工业园3号厂房三楼东区、五楼中西区
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202021962074.0
主分类号 ：
G01R1/073
IPC分类号 ：
G01R1/073
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01R
测量电变量；测量磁变量
G01R1/00
包括在G01R5/00至G01R13/00或G01R31/00组中的各类仪器或装置的零部件
G01R1/02
一般结构零部件
G01R1/06
测量引线；测量探针
G01R1/067
测量探针
G01R1/073
多个探针
法律状态
2021-05-18 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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