探针卡
实质审查的生效
摘要
本发明提供一种探针卡,包括有探针座、至少一阻抗匹配探针以及多个第一探针。其中,探针座具有待测物侧以及与待测物侧相对应的测试机侧。每一阻抗匹配探针具有一探针部以及与探针部连接的信号传输部,信号传输部的一端设置于测试机侧,信号传输部具有一探针中心轴。每一第一探针具有一针尖段以及与所述针尖段连接的悬臂段。悬臂段的一端与探针座电性连接,悬臂段具有第一中心轴。探针中心轴与第一中心轴具有大于零度的第一夹角。
基本信息
专利标题 :
探针卡
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114354991A
申请号 :
CN202111161023.7
公开(公告)日 :
2022-04-15
申请日 :
2021-09-30
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
蔡锦溢张嘉泰苏正年杨金田余陈志
申请人 :
旺矽科技股份有限公司
申请人地址 :
中国台湾新竹县
代理机构 :
北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司
代理人 :
李林
优先权 :
CN202111161023.7
主分类号 :
G01R1/073
IPC分类号 :
G01R1/073
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01R
测量电变量;测量磁变量
G01R1/00
包括在G01R5/00至G01R13/00或G01R31/00组中的各类仪器或装置的零部件
G01R1/02
一般结构零部件
G01R1/06
测量引线;测量探针
G01R1/067
测量探针
G01R1/073
多个探针
法律状态
2022-05-03 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01R 1/073
申请日 : 20210930
申请日 : 20210930
2022-04-15 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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