探针卡
授权
摘要
公开了一种探针卡，包括至少两个工程卡，所述工程卡包括：电路板；探针，设置在所述电路板上，其特征在于，所述工程卡通过所述探针为待测晶圆提供测试接口；所述工程卡包含第一连接部，任意两个所述工程卡通过所述第一连接部进行可拆卸连接。本申请的探针卡，利用多个数量不同的测试区域的探针卡进行两两组合，得到可以灵活改变测试区域数量的探针卡，从而降低成本。
基本信息
专利标题 ：
探针卡
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022204861.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-30
授权号 ：
CN213633545U
授权日 ：
2021-07-06
发明人 ：
李龙
申请人 ：
长江存储科技有限责任公司
申请人地址 ：
湖北省武汉市武汉东湖新技术开发区未来三路88号
代理机构 ：
北京成创同维知识产权代理有限公司
代理人 ：
蔡纯
优先权 ：
CN202022204861.5
主分类号 ：
G01R1/073
IPC分类号 ：
G01R1/073 G01R31/28
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01R
测量电变量；测量磁变量
G01R1/00
包括在G01R5/00至G01R13/00或G01R31/00组中的各类仪器或装置的零部件
G01R1/02
一般结构零部件
G01R1/06
测量引线；测量探针
G01R1/067
测量探针
G01R1/073
多个探针
法律状态
2021-07-06 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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