一种磁场探针台测试系统
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摘要

一种磁场探针台测试系统,其包括:用于减震、承载和固定其余部件的基座,用于放置样品的样品承载模块,用于在不同测试磁场环境下测试样品不同特性的探针模块,电磁铁模块,以及用于观测探针模块和样品并进行操作,采集图像数据的显微测量装置,所述电磁铁模块包括:磁铁桥架、励磁电源和多个可拆卸的电磁铁单元,磁铁桥架安装在基座上,用于固定电磁铁单元;多个可拆卸的电磁铁单元中的任意一个电磁铁单元可拆卸地安装在磁铁桥架上,用于在励磁电源的激励下产生磁场。所述磁场探针台测试系统使用可拆卸、可调节的电磁铁单元,可以灵活地生成一维或二维磁场,并能够对不同尺寸的样品进行兼容,达到晶圆级样品测试探针台要求,最高可达24英寸。

基本信息
专利标题 :
一种磁场探针台测试系统
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021326379.2
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-07-08
授权号 :
CN212905397U
授权日 :
2021-04-06
发明人 :
张学莹林冠屹王麟
申请人 :
致真精密仪器(青岛)有限公司;北京航空航天大学
申请人地址 :
山东省青岛市崂山区松岭路393号北京航空航天大学青岛研究院6号楼3层
代理机构 :
北京智绘未来专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
赵卿
优先权 :
CN202021326379.2
主分类号 :
G01R33/12
IPC分类号 :
G01R33/12  G01R33/00  G01R1/067  G01R1/073  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01R
测量电变量;测量磁变量
G01R33/00
测量磁变量的装置或仪器
G01R33/12
测量物品的磁性或者固体或流体样品的磁性
法律状态
2021-04-06 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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