探针测试机台及测试系统、更换探针板卡的方法
实质审查的生效
摘要
一种探针测试机台及测试系统、更换探针板卡的方法,所述探针测试机台包括:测试腔;承载台,设置在测试腔中,配置为承载待测晶圆;第一探针板卡容置腔,与所述测试腔相邻而设置,配置为容置第一探针板卡;第二探针板卡容置腔,与所述测试腔相邻而设置中,配置为容置第二探针板卡;第一调温装置,设置在所述第一探针板卡容置腔,配置为调节所述第一探针板卡容置腔的温度;第二调温装置,设置在所述第二探针板卡容置腔中,配置为调节所述第二探针板卡容置腔的温度;以及第三调温装置,设置在所述测试腔中,配置为调整测试腔中的温度。
基本信息
专利标题 :
探针测试机台及测试系统、更换探针板卡的方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114325006A
申请号 :
CN202210009562.7
公开(公告)日 :
2022-04-12
申请日 :
2022-01-05
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
顾良波张志勇鲍小燕周官宏
申请人 :
上海华岭集成电路技术股份有限公司
申请人地址 :
上海市浦东新区郭守敬路351号2号楼6楼
代理机构 :
北京睿驰通程知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
方丁一
优先权 :
CN202210009562.7
主分类号 :
G01R1/073
IPC分类号 :
G01R1/073
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01R
测量电变量;测量磁变量
G01R1/00
包括在G01R5/00至G01R13/00或G01R31/00组中的各类仪器或装置的零部件
G01R1/02
一般结构零部件
G01R1/06
测量引线;测量探针
G01R1/067
测量探针
G01R1/073
多个探针
法律状态
2022-04-29 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01R 1/073
申请日 : 20220105
申请日 : 20220105
2022-04-12 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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