探针卡及晶圆测试系统
授权
摘要

本实用新型提供了一种探针卡及晶圆测试系统,所述探针卡包括电性监控量测控制模块、第一支撑件、第一螺杆、第二螺杆和探针单元,所述电性监控量测控制模块与所述探针单元电连接,所述探针单元包括固定探针单元和可移动探针单元,所述固定探针单元固定在所述第一支撑件上,所述可移动探针单元位于所述第二螺杆上,所述可移动探针单元沿第一螺杆方向或者第二螺杆方向移动。所述探针卡可以测试不同尺寸的产品,无需制备不同的探针卡,降低制造成本和储存空间,也无需更换探针卡,降低了测试时间和加换探针卡失误的风险;通过在电性监控量测控制模块内设置不同尺寸的产品对应不同测试程序,可以自动实现不同的尺寸产品的测试。

基本信息
专利标题 :
探针卡及晶圆测试系统
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202122460860.1
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-10-12
授权号 :
CN216209348U
授权日 :
2022-04-05
发明人 :
李明赵远勇李玉科
申请人 :
广州粤芯半导体技术有限公司
申请人地址 :
广东省广州市黄埔区凤凰五路28号
代理机构 :
上海思捷知识产权代理有限公司
代理人 :
冯启正
优先权 :
CN202122460860.1
主分类号 :
G01R1/067
IPC分类号 :
G01R1/067  G01R1/073  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01R
测量电变量;测量磁变量
G01R1/00
包括在G01R5/00至G01R13/00或G01R31/00组中的各类仪器或装置的零部件
G01R1/02
一般结构零部件
G01R1/06
测量引线;测量探针
G01R1/067
测量探针
法律状态
2022-04-05 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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