测试晶圆的探针卡
实质审查的生效
摘要
公开了一种用于测试晶圆的探针卡。所述探针卡包括基板和块,所述块包括绝缘部和设置在所述绝缘部上的导电部。其中所述绝缘部包括通孔和与待测物体接触的探针。所述导电部包括电连接至所述基板的触点以及穿过所述通孔并将触点电连接至探针的导电图案。多个这样的探针之间的间距小于多个这样的触点之间的间距。所述块包括多个单位块。所述多个单位块每个包括所述绝缘部和所述导电部,并且所述单位块的绝缘部的至少部分布置为彼此间隔开。
基本信息
专利标题 :
测试晶圆的探针卡
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114487516A
申请号 :
CN202111242497.4
公开(公告)日 :
2022-05-13
申请日 :
2021-10-25
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
赵浚秀
申请人 :
普罗-2000有限公司
申请人地址 :
韩国京畿道
代理机构 :
北京市隆安律师事务所
代理人 :
权鲜枝
优先权 :
CN202111242497.4
主分类号 :
G01R1/073
IPC分类号 :
G01R1/073
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01R
测量电变量;测量磁变量
G01R1/00
包括在G01R5/00至G01R13/00或G01R31/00组中的各类仪器或装置的零部件
G01R1/02
一般结构零部件
G01R1/06
测量引线;测量探针
G01R1/067
测量探针
G01R1/073
多个探针
法律状态
2022-05-31 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01R 1/073
申请日 : 20211025
申请日 : 20211025
2022-05-13 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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