一种晶圆测试探针台及其测试方法
实质审查的生效
摘要
本发明属于半导体制备技术领域,尤其是一种晶圆测试探针台及其测试方法,针对现在的检测方式采时逐一晶圆片检测,也就是说一个晶圆片检测需要进行放置晶圆片,然后检测,最后取下检测完毕的晶圆片,重复以上动作,此种检测方式的取放浪费了大量时间问题,现提出以下方案,包括工作台,所述工作台底部外壁四角位置均固定连接有支脚,所述工作台顶部外壁固定连接有电控箱。本发明中,通过设置装载管可以对晶圆片进行装载,通过设置驱动机构带动转动管转动,从而带动装载管转动,从而利用第一感应器和第二感应器的配合作用下,保证了装载管依次经过进料机构、检测机构和集料机构,实现了转动式自动上料、检测和下料的目的,保证了测试效率。
基本信息
专利标题 :
一种晶圆测试探针台及其测试方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114355155A
申请号 :
CN202111493664.2
公开(公告)日 :
2022-04-15
申请日 :
2021-12-08
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
闫留伟
申请人 :
闫留伟
申请人地址 :
河南省周口市鹿邑县涡北镇冯桥行政村闫庄042号
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN202111493664.2
主分类号 :
G01R31/28
IPC分类号 :
G01R31/28
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01R
测量电变量;测量磁变量
G01R31/28
•电路的测试,例如用信号故障寻测器
法律状态
2022-05-03 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01R 31/28
申请日 : 20211208
申请日 : 20211208
2022-04-15 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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