晶圆测试探针卡

专利申请权、专利权的转移

摘要

本实用新型提供了一种晶圆测试探针卡，包括基板，在基板表面设置有内圆区域和外环区域，内圆区域的半径小于外环区域的环宽；其中，在内圆区域内环设有两路以上测试通道组成的第一路电导体，且第一路电导体中的各测试通道在内圆区域内呈环形分布；在外环区域内环设有两路以上测试通道组成的第二路电导体，且第二路电导体中的各测试通道由内圆区域的边缘向基板的边缘呈柱状分布。通过本实用新型能够增加同测数量，提高测试效率，延长探针卡的使用寿命，提高测试精准度。

基本信息

专利标题：

晶圆测试探针卡

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201920908482.9

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-06-17

授权号：

CN211206583U

授权日：

2020-08-07

发明人：

刘家铭张孝仁苏华庭

申请人：

元鼎丰投资有限公司

申请人地址：

中国香港租庇利街1号喜讯大厦706室

代理机构：

成都明涛智创专利代理有限公司

代理人：

杜梦

优先权：

CN201920908482.9

主分类号：

G01R1/073

IPC分类号：

G01R1/073