探针卡及晶圆测试设备
授权
摘要
一种探针卡及一种晶圆测试设备，所述探针卡包括：电路板；两个以上的探针单元，位于所述电路板一侧表面上，包括若干探针；升降单元，连接所述探针单元与所述电路板，用于调整所述探针单元的高度。所述探针卡的各个探针单元高度能够单独调节。
基本信息
专利标题 ：
探针卡及晶圆测试设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920418003.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-03-29
授权号 ：
CN209979706U
授权日 ：
2020-01-21
发明人 ：
高翔王有亮谢家红周杰田茂
申请人 ：
德淮半导体有限公司
申请人地址 ：
江苏省淮安市淮阴区长江东路599号
代理机构 ：
上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
孙佳胤
优先权 ：
CN201920418003.5
主分类号 ：
G01R1/073
IPC分类号 ：
G01R1/073 G01R31/26
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01R
测量电变量；测量磁变量
G01R1/00
包括在G01R5/00至G01R13/00或G01R31/00组中的各类仪器或装置的零部件
G01R1/02
一般结构零部件
G01R1/06
测量引线；测量探针
G01R1/067
测量探针
G01R1/073
多个探针
法律状态
2020-01-21 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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