一种探针台及半自动晶圆测试设备
授权
摘要
本实用新型公开了一种探针台及半自动晶圆测试设备，涉及晶圆技术领域，为解决现有技术中的普通晶圆探针台及半自动晶圆测试设备对晶圆的固定效果不够好的问题。所述气箱的上方安装有分流箱，且分流箱与气箱固定连接，所述气箱的上方安装有第一吸盘，且第一吸盘与气箱固定连接，所述气箱的外侧安装有固定管，且固定管与气箱固定连接，所述固定管的一端设置有伸缩管，且伸缩管与固定管滑动连接，所述伸缩管的上方安装有第二吸盘，且第二吸盘与伸缩管固定连接，所述底座的上方安装有测试机，且测试机与底座固定连接，所述测试机的上方安装有探针，且探针与测试机固定连接。
基本信息
专利标题 ：
一种探针台及半自动晶圆测试设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122492280.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-10-17
授权号 ：
CN216434271U
授权日 ：
2022-05-03
发明人 ：
钟良
申请人 ：
苏州斯尔特微电子有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市高新区通安镇华金路225号
代理机构 ：
苏州铭浩知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
张一鸣
优先权 ：
CN202122492280.0
主分类号 ：
G01R31/26
IPC分类号 ：
G01R31/26
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01R
测量电变量；测量磁变量
G01R31/26
•单个半导体器件的测试
法律状态
2022-05-03 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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