一种面向集成电路测试的悬臂式探针及探针台
公开
摘要
本申请涉及集成电路测试技术领域，公开了一种面向集成电路测试的悬臂式探针及探针台，悬臂式探针包括连接件、悬臂梁和针尖；悬臂梁为长条型；针尖垂直固定连接于悬臂梁朝向集成电路器件的一面且靠近悬臂梁的自由端；连接件垂直于悬臂梁朝向集成电路器件的一面,连接件的侧面的一端固定连接于悬臂梁的根部，另一端与针尖的朝向相背设置；悬臂梁朝向集成电路器件的一面为平面，悬臂梁在垂直方向上的厚度从根部到自由端逐渐减小。本申请具有针尖纵向位移大，对表面接触点高低不平的集成电路器件测试的适用范围大的效果。
基本信息
专利标题 ：
一种面向集成电路测试的悬臂式探针及探针台
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114594373A
申请号 ：
CN202210506481.8
公开（公告）日 ：
2022-06-07
申请日 ：
2022-05-11
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
汪飞黄俊龙陈木久刘晶云陈巧孙江永
申请人 ：
深圳市卓汉材料技术有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市龙华区观澜街道大富工业区20号硅谷动力·智能终端产业园A11栋501
代理机构 ：
广州三环专利商标代理有限公司
代理人 ：
陈旭红
优先权 ：
CN202210506481.8
主分类号 ：
G01R31/28
IPC分类号 ：
G01R31/28 G01R1/067
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01R
测量电变量；测量磁变量
G01R31/28
•电路的测试，例如用信号故障寻测器
法律状态
2022-06-07 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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