一种晶圆测试探针卡
授权
摘要
本实用新型公开了一种晶圆测试探针卡,包括底层PCB板,在底层PCB板上固定设置有测试探针,所述测试探针包括中空的探针柱、探针头,所述探针柱一端连接PCB板,另一端连接所述探针头,所述探针柱形同气缸结构,往探针柱中通入气压,活塞推动探针向下移动,当探针和焊盘接触时探针会产生形变,当形变的力大小达到测试所需要的力大小时,接触良好,针停止移动,此时的力与测试所需要的接触力相等,测试完成时,关闭气压,活塞带动针返回原来位置。本实用新型所述的探针卡可以在不增加损坏产品风险的基础上,控制每根探针在测试时接触力的大小与所需要的力相等,最大程度上减少接触不良问题。
基本信息
专利标题 :
一种晶圆测试探针卡
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020478728.6
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-04-03
授权号 :
CN213023246U
授权日 :
2021-04-20
发明人 :
洪流简维廷钟贤岱
申请人 :
洪启集成电路(珠海)有限公司
申请人地址 :
广东省珠海市高新区唐家湾镇港湾大道科技一路10号主楼第六层602房0单元
代理机构 :
广州骏思知识产权代理有限公司
代理人 :
张金龙
优先权 :
CN202020478728.6
主分类号 :
G01R1/067
IPC分类号 :
G01R1/067
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01R
测量电变量;测量磁变量
G01R1/00
包括在G01R5/00至G01R13/00或G01R31/00组中的各类仪器或装置的零部件
G01R1/02
一般结构零部件
G01R1/06
测量引线;测量探针
G01R1/067
测量探针
法律状态
2021-04-20 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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