一种晶圆测试探针台

授权

摘要

本发明的实施例公开一种晶圆测试探针台，涉及硅晶片测试技术领域，能够适用于真空测试环境中对晶圆的固定。包括：载台，在所述载台上设有用于固定晶圆的压环，所述压环上设有与所述晶圆轮廓相对应的结构。本发明适用于半导体、光电元器件、集成电路等的性能测试中，特别适用于对晶圆的测试。

基本信息

专利标题：

一种晶圆测试探针台

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN111198285A

申请号：

CN201811372333.1

公开（公告）日：

2020-05-26

申请日：

2018-11-16

授权号：

CN111198285B

授权日：

2022-05-03

发明人：

刘旭峰

申请人：

杭州海康微影传感科技有限公司

申请人地址：

浙江省杭州市富阳区东洲街道高尔夫路209号第4幢1层

代理机构：

北京市广友专利事务所有限责任公司

代理人：

祁献民

优先权：

CN201811372333.1

主分类号：

G01R1/073

IPC分类号：

G01R1/073

IPC结构图谱

G部——物理

G01

测量；测试

G01R

测量电变量；测量磁变量

G01R1/00

包括在G01R5/00至G01R13/00或G01R31/00组中的各类仪器或装置的零部件

G01R1/02

一般结构零部件

G01R1/06

测量引线；测量探针

G01R1/067

测量探针

G01R1/073

多个探针

法律状态

2022-05-03 ：

授权

2020-06-19 ：

实质审查的生效

IPC(主分类) : G01R 1/073
申请日 : 20181116

2020-06-09 ：

著录事项变更

IPC(主分类) : G01R 1/073
变更事项 : 申请人
变更前 : 杭州海康微影传感科技有限公司
变更后 : 杭州海康微影传感科技有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 311401 浙江省杭州市富阳区东洲街道高尔夫路209号第4幢1层
变更后 : 311501 浙江省杭州市桐庐县桐庐经济开发区求是路299号A1号楼

2020-05-26 ：

公开

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

文件下载

暂无PDF文件可下载