本实用新型属于晶圆测试设备技术领域，尤其为一种硅晶圆探针测试装置，包括工作台，所述工作台的下表面通过螺栓固定有旋转电机，所述旋转电机的输出轴贯穿工作台并固定连接有转板，所述转板的上表面安装有晶圆托板架，所述晶圆托板架的上端开设有定位槽，所述工作台的上方通过四根立柱连接有顶板，所述顶板的上表面通过螺栓安装有液压气缸；晶圆通过定位槽安装在晶圆托板架的上端，同时转板安装在旋转电机的转动轴上，便于转板带着晶圆托板架进行旋转，同时压板安装在液压气缸的输出轴上，便于液压气缸的输出轴带着压板上下移动，同时压板下表面安装的探针测板，便于限位凸起与晶圆接触，增加了晶圆测试的便捷性。