一种硅基OLED探针测试装置
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摘要
本实用新型公开了一种硅基OLED探针测试装置，包括电气柜和设在电气柜上的测试台，所述测试台上设有探针台和位于探针台上方可水平移动的龙门架，所述探针台上设有用于去扎Wafer外围PAD进行全屏点亮的两根探针，所述龙门架的下部对应探针台设有检测相机和光谱仪。使用两根探针扎到外围PAD上给Die供电使Wafer全屏点亮，再使用面阵相机或TDI线阵相机对Wafer全屏进行快速成像分析，无需探卡，可快速测试使得Tact Time较传统自动探针台测试硅基OLED降低76.8％，提高了测试效率，且不会对Bonding PAD造成损坏。
基本信息
专利标题 ：
一种硅基OLED探针测试装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021336804.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-07-09
授权号 ：
CN212410029U
授权日 ：
2021-01-26
发明人 ：
朱平赵铮涛曹绪文刘胜芳祖伟任清江李雪原宋盖文许丽华
申请人 ：
安徽熙泰智能科技有限公司
申请人地址 ：
安徽省芜湖市芜湖长江大桥综合经济开发区高安街道经四路一号办公楼五楼
代理机构 ：
芜湖安汇知识产权代理有限公司
代理人 ：
张永生
优先权 ：
CN202021336804.6
主分类号 ：
G01M11/02
IPC分类号 ：
G01M11/02 G01R31/26
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01M
机器或结构部件的静或动平衡的测试；其他类目中不包括的结构部件或设备的测试
G01M11/02
•光学性质测试
法律状态
2021-01-26 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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