一种易更换板卡式晶圆测试探针板卡组件
授权
摘要
本实用新型涉及一种易更换板卡式晶圆测试探针板卡组件，它包括：固定架；板卡，所述板卡可拆卸地设置在所述固定架上，所述板卡上开设有第一孔；输入信号源，所述输入信号源连接在所述固定架上，所述输入信号源对应于所述第一孔设置；快门，所述快门对应于所述第一孔而设置。通过输入信号源可输入光、温度等信号，输入信号源将光或温度穿过第一孔而到达板卡另一侧的待测试晶圆上，通过快门可以控制第一孔打开或关闭，从而对输入信号进行控制，另外由于将板卡可拆卸地设置在固定架上，从而方便于更换板卡，这样可针对不同的晶圆更换不同的板卡，适用性更强。
基本信息
专利标题 ：
一种易更换板卡式晶圆测试探针板卡组件
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021309587.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-07-07
授权号 ：
CN212230396U
授权日 ：
2020-12-25
发明人 ：
王媛
申请人 ：
苏州容启传感器科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城中北区23幢综合楼214室
代理机构 ：
苏州根号专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
朱华庆
优先权 ：
CN202021309587.1
主分类号 ：
H01L21/66
IPC分类号 ：
H01L21/66
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/66
在制造或处理过程中的测试或测量
法律状态
2020-12-25 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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