对基板作业机及移动头
授权
摘要
对基板作业机具备:移动头,以能够在水平方向上移动的方式设于机内,在对基板作业中使用;温度取得部,取得移动头的内部的温度;及头控制部,基于由温度取得部取得的温度来控制对基板作业中的移动头的动作。
基本信息
专利标题 :
对基板作业机及移动头
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN112740852A
申请号 :
CN201880097922.5
公开(公告)日 :
2021-04-30
申请日 :
2018-10-31
授权号 :
CN112740852B
授权日 :
2022-04-05
发明人 :
桥本光弘
申请人 :
株式会社富士
申请人地址 :
日本爱知县知立市
代理机构 :
中原信达知识产权代理有限责任公司
代理人 :
杨青
优先权 :
CN201880097922.5
主分类号 :
H05K13/04
IPC分类号 :
H05K13/04
法律状态
2022-04-05 :
授权
2021-05-21 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : H05K 13/04
申请日 : 20181031
申请日 : 20181031
2021-04-30 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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