对基板作业机和清扫方法
公开
摘要
本发明提供一种对基板作业机，具备：供给部件，向电子基板供给在电子基板的生产中使用的流体；第一支撑部，供第一擦拭体设置；第二支撑部，供第二擦拭体设置；致动器，使第一支撑部以及第二支撑部中的至少一方移动；以及控制部，执行如下的清扫处理：通过利用致动器使第一支撑部以及第二支撑部成为接近的状态来清扫供给部件。
基本信息
专利标题 ：
对基板作业机和清扫方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114616932A
申请号 ：
CN201980101733.5
公开（公告）日 ：
2022-06-10
申请日 ：
2019-11-12
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
仲川史人
申请人 ：
株式会社富士
申请人地址 ：
日本爱知县知立市
代理机构 ：
中原信达知识产权代理有限责任公司
代理人 ：
杨青
优先权 ：
CN201980101733.5
主分类号 ：
H05K13/00
IPC分类号 ：
H05K13/00 H05K13/04
法律状态
2022-06-10 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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