基板作业系统

授权

摘要

本发明提供一种基板作业系统，具备使用能够更换的作业单元来进行对于基板的预定作业的作业装置，其中，基板作业系统具备：保管部，保管作业单元；维护装置，进行对于作业单元的维护；输送装置，能够输送作业单元；判定部，基于与预定作业的作业品质相关的品质信息，判定在作业装置中使用的作业单元的维护时期；及控制部，在由判定部判定为维护时期的情况下，对输送装置、作业装置及维护装置进行控制，以使得从保管部搬出更换用的作业单元并输送至作业装置而与在作业装置中使用的作业单元进行更换，将所更换的使用后的作业单元输送至维护装置来进行维护。

基本信息

专利标题：

基板作业系统

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN111557130A

申请号：

CN201880084600.7

公开（公告）日：

2020-08-18

申请日：

2018-02-16

授权号：

CN111557130B

授权日：

2022-05-13

发明人：

粟生浩之

申请人：

株式会社富士

申请人地址：

日本爱知县知立市

代理机构：

中原信达知识产权代理有限责任公司

代理人：

杨青

优先权：

CN201880084600.7

主分类号：

H05K13/00

IPC分类号：

H05K13/00