清扫系统、透明基板的清扫方法及电子部件的制造方法

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摘要

一种清扫系统、透明基板的清扫方法及电子部件的制造方法，能高效可靠地清扫薄板表面。清扫系统去除附着于薄板表面的异物，包括：输送薄板的输送装置；以及清扫装置，具有与通过输送装置输送的薄板表面对置地配置的清扫部，清扫装置包括相对移动机构，该相对移动机构在为了清扫而使清扫部直接或间接地接触于薄板表面的状态下使清扫部反复进行与薄板表面相对的相对性的静止动作和移动动作。优选输送装置向一方向输送利用清扫装置的清扫状态的薄板表面，相对移动机构交替地反复进行一方向的移动动作以及相反方向的移动动作，在移动动作中，由相对移动机构移动的清扫部移动的最大移动速度比由输送装置输送的薄板表面的移动速度快。

基本信息

专利标题：

清扫系统、透明基板的清扫方法及电子部件的制造方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN109248892A

申请号：

CN201810738124.8

公开（公告）日：

2019-01-22

申请日：

2018-07-06

授权号：

CN109248892B

授权日：

2022-04-15

发明人：

青山博司林田彻

申请人：

哈里斯股份有限公司

申请人地址：

日本兵库县

代理机构：

北京康信知识产权代理有限责任公司

代理人：

玉昌峰

优先权：

CN201810738124.8

主分类号：

B08B11/04

IPC分类号：

B08B11/04 B08B1/00 B08B1/02 B08B13/00