一种工件制造方法及工件

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摘要

本发明公开了一种工件制造方法及工件，方法包括：采用型芯材料形成内腔型芯；将接头件装配至所述内腔型芯上；在所述接头件和所述内腔型芯的表面形成金属薄壁层；去除所述内腔型芯，形成金属薄壁腔体件。本发明中金属薄壁腔体件包括包覆于其内部的接头件，便于薄壁件的安装；内腔型芯可以具有复杂的结构特征，克服现有的制造工艺中薄壁腔体件内腔复杂度限制；金属薄壁层依附在内腔型芯的表面形成，可以在满足强度需求的前提下尽可能地薄，克服现有的制造工艺中的壁厚限制和金属可适用材料限制；同时制备工艺简单，降低制造成本。

基本信息

专利标题：

一种工件制造方法及工件

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN111101176A

申请号：

CN201910059062.2

公开（公告）日：

2020-05-05

申请日：

2019-01-22

授权号：

CN111101176B

授权日：

2022-06-03

发明人：

赵仁洁朱文洁张丽

申请人：

上海微电子装备(集团)股份有限公司

申请人地址：

上海市浦东新区自由贸易试验区张东路1525号

代理机构：

北京品源专利代理有限公司

代理人：

孟金喆

优先权：

CN201910059062.2

主分类号：

C25D5/56

IPC分类号：

C25D5/56