一种超表面显微镜及其制备方法、光路测量系统
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摘要

本发明提供了一种超表面显微镜及其制备方法、光路测量系统,所述制备方法采用二氧化钛超表面制备由两个不同焦距、直径可小达100μm的超透镜组成的超表面显微镜,还提供了一种光路测量系统。与现有技术相比,本发明的超透镜不存在球差;结构简单,由2个简单的平面超透镜组成,不需要添加额外的透镜组;尺寸很小,直径可做到100μm,有利于集成;本发明的制备方法均采用常规试剂和仪器,各步骤易行,可操作性强;本发明的光路测量系统简单、快捷,可快速对超表面显微镜成品进行测量。

基本信息
专利标题 :
一种超表面显微镜及其制备方法、光路测量系统
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN110007451A
申请号 :
CN201910277288.X
公开(公告)日 :
2019-07-12
申请日 :
2019-04-08
授权号 :
CN110007451B
授权日 :
2022-04-01
发明人 :
肖淑敏余烈国宋清海
申请人 :
哈尔滨工业大学(深圳)
申请人地址 :
广东省深圳市南山区桃源街道深圳大学城哈尔滨工业大学校区
代理机构 :
深圳市添源知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
黎健任
优先权 :
CN201910277288.X
主分类号 :
G02B21/00
IPC分类号 :
G02B21/00  C23C14/08  C23C14/18  C23C14/34  G01N21/84  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B21/00
显微镜
法律状态
2022-04-01 :
授权
2019-08-06 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G02B 21/00
申请日 : 20190408
2019-07-12 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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