本发明涉及了一种放射性表面污染测量方法，至少包括以下步骤：利用包括典型核素的多个第一标准源来测试该辐射探测装置的同时存在α和β粒子时的α通道和β通道的响应特性；提供纯α粒子的第二标准源，用以确定α粒子在该辐射探测装置的β通道中的响应，由此预先确定该辐射探测装置的β通道对入射α粒子的响应系数；提供纯β粒子的第二标准源，用以确定β粒子在该辐射探测装置的β通道中的响应，由此预先确定该辐射探测装置的β通道对入射β粒子的响应系数；用α通道计数率除以α通道响应系数得到α表面污染；用β通道计数率扣除α粒子计数率乘以优化的β通道对α粒子的响应系数，再除以β粒子响应得到β表面污染。