一种窄带光谱滤波结构及其制作方法

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摘要

本发明公开了一种窄带光谱滤波结构及其制作方法，属于集成光电子领域。该结构为基于固定介质层厚度的FP型窄带光谱滤波器结构，器件主要包括顶层布拉格反射镜1、中间介质层2、底层布拉格反射镜3和基底4；所述中间介质层2为低折射率介质材料，其上有亚波长孔阵列2‑1，及其填充在孔阵列内的高折射率介质材料亚波长柱阵列2‑2。基底4为滤波结构提供刚性支撑；布拉格反射镜1、3作为FP腔的上下反射镜；中间介质层2为FP腔的介质材料，通过改变其内部周期性亚波长结构的尺寸，便可控制高低折射率介质材料的比例，进而调节介质层的有效折射率，从而在厚度保持不变的情况下实现高效率窄带宽的多波段光谱滤波效果，同时依据亚波长结构的形状类型，可使得滤波结构具备相应的偏振敏感/无关特性。

基本信息

专利标题：

一种窄带光谱滤波结构及其制作方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN110146949A

申请号：

CN201910454191.1

公开（公告）日：

2019-08-20

申请日：

2019-05-29

授权号：

CN110146949B

授权日：

2022-06-14

发明人：

虞益挺赵建村

申请人：

西北工业大学深圳研究院;西北工业大学

申请人地址：

广东省深圳市南山区粤海街道高新技术产业园南区虚拟大学园A座3楼315室

代理机构：

西北工业大学专利中心

代理人：

吕湘连

优先权：

CN201910454191.1

主分类号：

G02B5/28

IPC分类号：

G02B5/28 G02B5/08 G03F7/16 G03F7/40 G03F7/42