滤波器结构及其制作方法
实质审查的生效
摘要
本申请涉及一种滤波器结构及其制作方法。其中，滤波器结构的制作方法包括：提供基底，并于基底上形成初级滤波器结构，初级滤波器结构包括串联谐振器结构以及并联谐振器结构，串联谐振器结构具有第一顶层部，并联谐振器结构具有第二顶层部；对初级滤波器结构的带宽进行测试；根据带宽测试结果，对初级滤波器结构的第一顶层部与第二顶层部二者之中的其中一者的厚度进行调节。本申请能够有效提高滤波器结构的带宽精度。
基本信息
专利标题 ：
滤波器结构及其制作方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114553183A
申请号 ：
CN202210053732.1
公开（公告）日 ：
2022-05-27
申请日 ：
2022-01-18
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
王勇涛蔡敏豪王冲罗传鹏
申请人 ：
绍兴中芯集成电路制造股份有限公司
申请人地址 ：
浙江省绍兴市越城区皋埠镇临江路518号
代理机构 ：
华进联合专利商标代理有限公司
代理人 ：
郭凤杰
优先权 ：
CN202210053732.1
主分类号 ：
H03H9/54
IPC分类号 ：
H03H9/54 H03H3/02 G01R31/00
法律状态
2022-06-14 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H03H 9/54
申请日 : 20220118
申请日 : 20220118
2022-05-27 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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