13.5nm极紫外滤波器的制作方法
专利权的终止
摘要
一种13.5nm极紫外滤波器的制作方法，包括下列步骤：1)加工一个铝框架，将无定形碳薄膜黏附在该铝框架上，该无定形碳薄膜的厚度为0.1～1μm；2)将所述的铝框架放入在真空镀膜机中，采用硅单晶作镀膜材料，在所述的无定形碳薄膜上真空蒸镀一层硅单晶薄膜，其厚度为0.1～0.2μm，即构成13.5nm极紫外滤波器。将制成的滤波器放置在真空室内，使镀硅膜的滤波器的那一面的法线和来自于极紫外光源的极紫外线成85°掠入射角，掠出射的极紫外线中，无论是长于或短于13.5nm的其余极紫外光线将被滤去，13.5nm的极紫外线的透过率将高达70％。
基本信息
专利标题 ：
13.5nm极紫外滤波器的制作方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1800886A
申请号 ：
CN200610023269.7
公开（公告）日 ：
2006-07-12
申请日 ：
2006-01-12
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
高鸿奕干慧菁朱化凤陈建文
申请人 ：
中国科学院上海光学精密机械研究所
申请人地址 ：
201800上海市800－211邮政信箱
代理机构 ：
上海新天专利代理有限公司
代理人 ：
张泽纯
优先权 ：
CN200610023269.7
主分类号 ：
G02B5/20
IPC分类号 ：
G02B5/20
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B5/00
除透镜外的光学元件
G02B5/20
滤光片
法律状态
2014-03-12 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101576522350
IPC(主分类) : G02B 5/20
专利号 : ZL2006100232697
申请日 : 20060112
授权公告日 : 20071226
终止日期 : 20130112
号牌文件序号 : 101576522350
IPC(主分类) : G02B 5/20
专利号 : ZL2006100232697
申请日 : 20060112
授权公告日 : 20071226
终止日期 : 20130112
2007-12-26 ：
授权
2006-09-06 ：
实质审查的生效
2006-07-12 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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