滤波器扇出封装结构及其制作方法
实质审查的生效
摘要
本发明公开了一种滤波器扇出封装结构及其制作方法,滤波器芯片包括谐振区以及谐振区以外的非谐振区,非谐振区上设有焊盘,在另外提供的载板晶圆表面覆盖有粘合层,在粘合层上方制作围挡层,通过在围挡层上或者非谐振区上形成对位结构,对位结构的位置与焊盘相对应,并借助对位结构将滤波器芯片对位贴合在载板晶圆上以在谐振区上方形成第一空腔,并在滤波器芯片和围挡层的背面和侧面上覆盖塑封层,再移除载板晶圆和粘合层,并在围挡层上制作保护层,通过保护层上的第一通孔与对位结构设置金属连接结构和焊球。本发明能够解决滤波器芯片扇出封装的偏移和解决LT晶圆裂片问题,有效增强空腔结构耐模压性能,降低生产成本,实现超薄封装。
基本信息
专利标题 :
滤波器扇出封装结构及其制作方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114513183A
申请号 :
CN202111610946.6
公开(公告)日 :
2022-05-17
申请日 :
2021-12-27
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
黄剑洪姜峰于大全
申请人 :
厦门云天半导体科技有限公司
申请人地址 :
福建省厦门市海沧区中沧工业园坪埕中路28号302单元
代理机构 :
厦门市首创君合专利事务所有限公司
代理人 :
连耀忠
优先权 :
CN202111610946.6
主分类号 :
H03H9/10
IPC分类号 :
H03H9/10 H03H3/08
法律状态
2022-06-03 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : H03H 9/10
申请日 : 20211227
申请日 : 20211227
2022-05-17 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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