窄带透射滤波器及片上光谱分析与成像系统

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摘要

本发明公开了一种窄带透射滤波器及片上光谱分析与成像系统，所述滤波器包括基底，基底表面先形成光栅结构，然后沉积金属/类金属膜，或基底表面先沉积金属/类金属膜，然后形成光栅结构，通过改变基底材料、金属/类金属材料和光栅结构来调节带通中心波长；所述系统包括滤波器阵列和探测器阵列，滤波器阵列由多个不同带通中心波长的滤波器单元构成，每个滤波器单元采用上述的窄带透射滤波器，滤波器阵列的滤波器单元和探测器阵列的探测器单元一一对应组合。本发明的滤波器具有大的工作波长带宽和窄的通带，并且不同中心波长的滤波器可以一次图形化加工获得，通过与探测器阵列形成片上光谱分析与成像系统，大幅提高系统性能，并降低了系统复杂性。

基本信息

专利标题：

窄带透射滤波器及片上光谱分析与成像系统

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN111141385A

申请号：

CN202010002528.8

公开（公告）日：

2020-05-12

申请日：

2020-01-02

授权号：

CN111141385B

授权日：

2022-05-24

发明人：

陈沁文龙南向红

申请人：

暨南大学

申请人地址：

广东省广州市天河区黄埔大道西601号

代理机构：

广州市华学知识产权代理有限公司

代理人：

李君

优先权：

CN202010002528.8

主分类号：

G01J3/28

IPC分类号：

G01J3/28 G01J3/18 G01J3/12 G01J3/02