低温微纳米压痕测试系统的非真空氛围式制冷系统

授权

摘要

本发明涉及一种低温微纳米压痕测试系统的非真空氛围式制冷系统，属于制冷技术领域。包括制冷蒸汽发生单元、真空/氛围腔室单元、低温氛围制冷腔室单元、压入深度在线溯源单元和微纳米压痕加载与检测单元。本发明以低温氛围制冷腔室单元为基础，结合制冷蒸汽发生单元、真空/氛围腔室单元，实现非真空氛围制冷环境的构建，通过这种方式对样品与压头同时制冷，以削弱“温漂”对压痕测试精度的影响。同时能够兼容压入深度在线溯源单元，用于实现低温环境下压入深度的精密测量以及微纳米压痕加载与检测单元压入深度传感器的在线溯源校准等功能扩展，为开发研制低温微纳米压痕测试系统提供稳态的低温加载环境。

基本信息

专利标题：

低温微纳米压痕测试系统的非真空氛围式制冷系统

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN110470555A

申请号：

CN201910789670.9

公开（公告）日：

2019-11-19

申请日：

2019-08-26

授权号：

CN110470555B

授权日：

2022-04-01

发明人：

赵宏伟王赵鑫刘鹏张建海王顺博周水龙李聪张萌王吉如赵运来赵久成常枭王文阳候伟光

申请人：

吉林大学

申请人地址：

吉林省长春市前进大街2699号

代理机构：

吉林长春新纪元专利代理有限责任公司

代理人：

王怡敏

优先权：

CN201910789670.9

主分类号：

G01N3/54

IPC分类号：

G01N3/54 F25D3/10