本实用新型涉及一种具有惰性气体保护功能的高温微纳米压痕测试装置，属于机电一体化精密仪器领域。由隔热单元、惰性氛围加热单元、宏观调整‑精密加载单元、显微成像单元、XY精密位移平台与大理石基座等组成。XY精密位移平台带动隔热单元、惰性氛围加热单元及试验样品进行XY方向的位移以实现压入点更换和显微成像位置的调整。本实用新型可在惰性气体保护下开展室温至800℃高温环境下的材料微纳米压痕响应及力学性能的测试，结合带有滤光镜头的同轴显微镜能对高温作用下材料试验样品压痕区域的表面形貌与变形损伤进行原位观测。具有结构紧凑、模块化程度高、测试精度高、可控环境氛围以及便于操作使用等优点。