用于测量多层结构的层之间叠对的技术
授权
摘要
一种用于确定多层结构的层之间叠对的方法，该方法可包含以下步骤：得到代表多层结构的给定影像、得到用于多层结构的层的预期影像、提供多层结构的结合的预期影像为所述层的预期影像的结合、执行给定影像相对于结合的预期影像的配准、及提供给定影像的分割从而产生分割的影像和所述多层结构的层的图像。所述方法可进一步包含以下步骤：通过一起处理多层结构的任何两个选择的层的图像和所述两个选择的层的预期影像来确定所述两个选择的层之间的叠对。
基本信息
专利标题 ：
用于测量多层结构的层之间叠对的技术
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN110647012A
申请号 ：
CN201910808592.2
公开（公告）日 ：
2020-01-03
申请日 ：
2016-07-06
授权号 ：
CN110647012B
授权日 ：
2022-04-08
发明人 ：
达尼·辛格·拉陶斯雅科夫·温伯格伊谢·施瓦茨班德罗马·克里斯伊塔亚·克钦兰·戈德曼奥尔加·诺瓦克奥弗·阿丹希蒙·利维
申请人 ：
应用材料以色列公司
申请人地址 ：
以色列雷霍沃特
代理机构 ：
北京律诚同业知识产权代理有限公司
代理人 ：
徐金国
优先权 ：
CN201910808592.2
主分类号 ：
G03F7/20
IPC分类号 ：
G03F7/20 G03F7/11 G03F1/44 H01L21/768
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2022-04-08 ：
授权
2020-02-04 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G03F 7/20
申请日 : 20160706
申请日 : 20160706
2020-01-03 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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