基于单壁碳纳米管的自供能气体传感器的制备方法
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摘要

本发明涉及气体传感器技术,具体为一种基于单壁碳纳米管的自供能气体传感器的制备方法。利用浮动催化剂化学气相沉积法制备并收集高质量单壁碳纳米管薄膜,直接转移担载于柔性透明基体上,以单壁碳纳米管作为气体敏感元件,以单壁碳纳米管薄膜/硅异质结制备太阳能光伏电池,再将电极材料,如:铜、金、银、铝等金属或碳纳米管、石墨烯、ITO等非金属,以磁控溅射、热蒸发、电镀、银胶等方式连接,即完成基于单壁碳纳米管的自供能气体传感器的组装。本发明实现了小而轻、高性能自供能气体传感器的制备,并可进一步通过优化设计集成柔性可弯折的自供能气体传感器,突破了目前金属氧化物气体传感器在柔性、重量、能耗、供能等方面的局限性。

基本信息
专利标题 :
基于单壁碳纳米管的自供能气体传感器的制备方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN112485296A
申请号 :
CN201910857326.9
公开(公告)日 :
2021-03-12
申请日 :
2019-09-11
授权号 :
CN112485296B
授权日 :
2022-04-05
发明人 :
刘畅郭舒予胡显刚侯鹏翔成会明
申请人 :
中国科学院金属研究所
申请人地址 :
辽宁省沈阳市沈河区文化路72号
代理机构 :
沈阳优普达知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 :
张志伟
优先权 :
CN201910857326.9
主分类号 :
G01N27/00
IPC分类号 :
G01N27/00  H01L31/028  H01L31/074  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N27/00
用电、电化学或磁的方法测试或分析材料
法律状态
2022-04-05 :
授权
2021-03-30 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01N 27/00
申请日 : 20190911
2021-03-12 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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