本发明提供一种气体传感器及其制备方法，所述制备方法包括如下步骤：提供一衬底，所述衬底表面具有绝缘层，以及绝缘层表面的源极、栅极和漏极；在栅极表面电镀金属掩膜；在电极表面修饰阻挡层；去除金属掩膜并同时去除金属掩膜表面的阻挡层；在阻挡层未覆盖的区域生长介电层，所述介电层包覆所述栅极；去除阻挡层以暴露出源极和漏极；在源极、漏极以及介电层表面形成导电气敏层。上述结构的导电气敏层完全暴露在外，可以最大程度的与空气接触，提高了导电气敏层的作用面积，有效提升了气体传感器的性能。并且通过上述技术方案所述的方法，解决了上述结构中的技术难题，即如何实现介电层覆盖绝缘层的同时，所述介电层在金属电极上的区域选择性生长的问题。