一种MEMS气体传感器及其阵列和制备方法

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摘要

本申请实施例公开了一种MEMS气体传感器及其阵列和制备方法，该MEMS气体传感器包括：设有第一腔体的第一衬底，设置于第一腔体开口处的N个气体检测组件；每个气体检测组件包括：支撑臂以及设置于支撑臂上的气体检测部；气体检测部包括依次叠设的条形加热电极部、绝缘层、条形检测电极部以及气敏材料部，条形检测电极部包括之间设置有第一开口的第一检测电极部和第二检测电极部，气敏材料部设置于第一开口处，气敏材料部的第一端与第一检测电极部连接，气敏材料部的第二端与第二检测电极部连接；每个气体检测组件中的条形加热电极部顺序连接，构成一个加热器。该实施例方案降低了功耗，减少了加热器数量。

基本信息

专利标题：

一种MEMS气体传感器及其阵列和制备方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN111272828A

申请号：

CN202010222310.3

公开（公告）日：

2020-06-12

申请日：

2020-03-26

授权号：

CN111272828B

授权日：

2022-04-12

发明人：

许磊谢东成陈栋梁

申请人：

合肥微纳传感技术有限公司

申请人地址：

安徽省合肥市高新区创新大道2800号创新产业园二期F3栋16层1608-1610室

代理机构：

北京安信方达知识产权代理有限公司

代理人：

解婷婷

优先权：

CN202010222310.3

主分类号：

G01N27/12

IPC分类号：

G01N27/12 B81B7/02 B81B7/00 B81C1/00