一种大规模阵列气体传感器及其制备方法

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摘要

本发明属于气体传感器相关技术领域，其公开了一种大规模阵列气体传感器及其制备方法，所述传感器从下到上依次包括基底、信号电极阵列、中层绝缘层、测量电极阵列、顶层绝缘层、电极材料阵列以及一气敏膜，其中：信号电极阵列、测量电极阵列以及电极材料阵列的阵列单元相同，测量电极阵列中一半数量的阵列单元分别与电压供给端连接且每一连接支路上设置有开关，另一半数量的阵列单元分别与接地端连接且每一支路上设置有开关；极材料阵列的阵列单元中各阵列单元的材料组分互不相同；气敏膜覆盖于电极材料阵列表面。本申请通过电极材料均不相同的阵列单元与同一气敏膜可以实现多种不同的气敏膜‑电极界面信号，进而可以实现对多种气体的精准识别。

基本信息

专利标题：

一种大规模阵列气体传感器及其制备方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN113358701A

申请号：

CN202110622565.3

公开（公告）日：

2021-09-07

申请日：

2021-06-04

授权号：

CN113358701B

授权日：

2022-04-29

发明人：

张顺平

申请人：

华中科技大学

申请人地址：

湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号

代理机构：

华中科技大学专利中心

代理人：

刘洋洋

优先权：

CN202110622565.3

主分类号：

G01N27/00

IPC分类号：

G01N27/00