光透过率调整装置
授权
摘要
本发明提供了一种光透过率调整装置，包括：光源，用于提供入射光，入射光的入射方向为X方向，垂直于X方向的方向为Y方向，由X方向和Y方向界定出XY平面，垂直于XY平面的方向为Z方向；沿X方向排列的至少两个透光板，至少两个透光板中具有2N个可旋转透光板，N为正整数，2N个可旋转透光板中的任意N个可旋转透光板绕Y方向旋转，另外N个可旋转透光板绕Z方向旋转，并且，通过旋转2N个可旋转透光板，以使得任意N个可旋转透光板和另外N个可旋转透光板对于入射光的透射率一一对应之差异小于等于预定值。本发明提供的光透过率调整装置可以确保出射光与入射光的偏振度一致，而不改变光束的偏振态，从而保证了后续操作的精确执行。
基本信息
专利标题 ：
光透过率调整装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN112748566A
申请号 ：
CN201911054439.1
公开（公告）日 ：
2021-05-04
申请日 ：
2019-10-31
授权号 ：
CN112748566B
授权日 ：
2022-06-03
发明人 ：
王彩红侯宝路
申请人 ：
上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请人地址 ：
上海市浦东新区张东路1525号
代理机构 ：
上海思捷知识产权代理有限公司
代理人 ：
王宏婧
优先权 ：
CN201911054439.1
主分类号 ：
G02B26/02
IPC分类号 ：
G02B26/02
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B26/00
利用可移动的或可变形的光学元件控制光的强度、颜色、相位、偏振或方向的光学器件或装置，例如，开关、选通或调制
G02B26/02
控制光的强度
法律状态
2022-06-03 ：
授权
2021-05-21 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G02B 26/02
申请日 : 20191031
申请日 : 20191031
2021-05-04 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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