测定装置、测定方法及记录有测定程序的记录介质
授权
摘要
本发明提供一种测定装置，在现有厚度仪中，在测定具有吸水性的测定对象物的厚度的情况下，测定光及参考光的透过率会因测定对象物的吸水量而变化，测定误差会增加。所述测定装置测定片状测定对象物的厚度，具备：检测部，其检测第一光强度、第二光强度及第三光强度，所述第一光强度是使具有第一波长的第一光透过测定对象物后的光的强度，所述第二光强度是使具有第二波长的第二光透过测定对象物后的光的强度，该第二波长是测定对象物的材料的吸收率比第一波长时低的波长，所述第三光强度是使具有第三波长的第三光透过测定对象物后的光的强度，该第三波长是测定对象物的材料的吸收率比第一波长时低，且含有流体的测定对象物的吸收率比第二波长时低的波长；厚度算出部，其使用第一光强度、第二光强度、及第三光强度，计算出测定对象物的厚
基本信息
专利标题 ：
测定装置、测定方法及记录有测定程序的记录介质
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN111238380A
申请号 ：
CN201911059835.3
公开（公告）日 ：
2020-06-05
申请日 ：
2019-11-01
授权号 ：
CN111238380B
授权日 ：
2022-04-05
发明人 ：
西田和史原仁节田和纪
申请人 ：
横河电机株式会社
申请人地址 ：
日本东京都
代理机构 ：
北京市柳沈律师事务所
代理人 ：
韩锋
优先权 ：
CN201911059835.3
主分类号 ：
G01B11/06
IPC分类号 ：
G01B11/06
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/02
用于计量长度、宽度或厚度
G01B11/06
用于计量厚度
法律状态
2022-04-05 ：
授权
2020-06-30 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01B 11/06
申请日 : 20191101
申请日 : 20191101
2020-06-05 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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