一种晶圆双面宏观观测装置及系统
专利申请权、专利权的转移
摘要

本实用新型公开了一种晶圆双面宏观观测装置及系统,涉及晶圆检测技术领域。包括:基座,基座上设有第一支撑板和第二支撑板,第一支撑板与第二支撑板之间设有翻转盘,翻转盘通过连接轴连接于第一支撑板或第二支撑板上,翻转盘沿连接轴的轴线方向转动连接于第一支撑板与第二支撑板;翻转盘上设有旋转盘,旋转盘沿其轴线方向转动连接于翻转盘,旋转盘的轴线垂直于翻转盘的轴线,翻转盘上设有用于驱动旋转盘转动的旋转机构;旋转盘上设有开合机构,开合机构内设有用于将晶圆压紧于旋转盘的按压板,按压板沿旋转盘的周向方向设置于旋转盘上;翻转盘上开设有第一观察开口,旋转盘上开设有第二观察开口。增加了晶圆观察时的可靠性。

基本信息
专利标题 :
一种晶圆双面宏观观测装置及系统
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201920420088.0
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-03-29
授权号 :
CN210322751U
授权日 :
2020-04-14
发明人 :
龚昱詹翡纱邱海洲
申请人 :
上海新创达智能科技有限公司
申请人地址 :
上海市浦东新区南汇新城镇环湖西二路888号2幢2区24144室
代理机构 :
上海硕力知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
冯健强
优先权 :
CN201920420088.0
主分类号 :
G01N21/01
IPC分类号 :
G01N21/01  G01N21/13  G01N21/84  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段,即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/01
便于进行光学测试的装置或仪器
法律状态
2021-12-21 :
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移IPC(主分类) : G01N 21/01
登记生效日 : 20211209
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 上海新创达智能科技有限公司
变更后权利人 : 上海新创达半导体设备技术有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 201306 上海市浦东新区南汇新城镇环湖西二路888号2幢2区24144室
变更后权利人 : 201306 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区环湖西二路888号C楼
2020-04-14 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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