本实用新型公开了一种晶圆表面宏观检测装置，晶圆吸盘，开设有气道；自转机构，与晶圆吸盘连接，用于带动晶圆吸盘作自转运动；X轴旋转机构，与自转机构连接，用于带动自转机构作X轴旋转运动；移动机构，包括直线模组，以及与直线模组连接的支撑杆，所述直线模组用于带动支撑杆作往复运动，支撑杆与X轴旋转机构铰接连接；Y轴旋转机构，包括升降组件，以及与升降组件连接的第一铰接件，第一铰接件与X轴旋转机构铰接连接，升降组件设于支撑杆上，升降组件用于带动第一铰接件作往复运动，使得X轴旋转机构绕支撑杆作Y轴旋转运动。本实用新型提供的晶圆表面宏观检测装置，可实现晶圆多个方向的旋转，方便对晶圆进行宏观检测，提高生产效率。