一种三明治式微加速度计
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摘要
本实用新型公开了一种三明治式微加速度计，所述微加速度计包括：从上到下的：上电极结构层、上键合接触区、中间电极结构层、下键合接触区、下电极结构层；上电极结构层设有与中间电极结构层键合的上键合接触区；下电极结构层设有与中间电极结构层键合的下键合接触区；上键合接触区与下键合接触区构成键合接触层；上电极结构层、中间电极结构层、下电极结构层在上、下键合接触区经熔融键合后构成自密封结构；其中中间电极结构层包括可动质量块；在很大程度上降低器件上、下电极结构层与中间电极结构层的寄生电容值，在极板间隙相同情况下，这将明显的提升三明治式微加速度计的信噪比特性。
基本信息
专利标题 ：
一种三明治式微加速度计
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920437394.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-04-02
授权号 ：
CN209460283U
授权日 ：
2019-10-01
发明人 ：
雷龙海周骏王龙峰王志山永启
申请人 ：
四川知微传感技术有限公司
申请人地址 ：
四川省成都市高新区（西区）天辰路88号4栋三单元4层
代理机构 ：
成都行之专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
熊曦
优先权 ：
CN201920437394.5
主分类号 ：
G01P15/125
IPC分类号 ：
G01P15/125 G01P15/08
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01P
线速度或角速度、加速度、减速度或冲击的测量；运动的存在或不存在的指示；运动的方向的指示、传播时间或传播方向来测量固体物体的方向或速度入G01S；核辐射速度的测量入G01T）
G01P15/00
测量加速度；测量减速度；测量冲击即加速度的突变
G01P15/02
利用惯性力
G01P15/08
用变换成电或磁量
G01P15/125
应用电容变送器
法律状态
2019-10-01 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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