本实用新型公开了一种电阻法碳化硅长晶设备水系统结构，包括防护侧板，所述防护侧板的底端外表面靠近四角位置均固定安装有支撑滑道，四个所述支撑滑道之间通过螺栓固定安装有安装板，且信息反馈处理箱的底端外表面固定安装有两个信息反馈处理箱。本实用新型所述的一种电阻法碳化硅长晶设备水系统结构，对水路系统进行合理的安装与摆放，使得水路系统整体的结构更加紧密，能够更加充分的利用空间，从而减少设备的空间，在防护侧板的底端安装四个支撑滑道，将引导柱安装在碳化硅电阻法设备的一侧，使得水路系统能够与碳化硅电阻法设备相对滑动，方便将水路系统从碳化硅电阻法设备的一侧拉出，当修理时，同时手动将水路系统向外拉，便可以对水路系统进行更换与修理。