一种耐高温的CO2激光增透膜
授权
摘要
本实用新型公开了一种耐高温的CO2激光增透膜，包括基底层，基底层上依次沉积有第一氟化钇层、氟化镱钙层、硒化锌层和第二氟化钇层，其中，第一氟化钇层、氟化镱钙层、硒化锌层和第二氟化钇层的覆盖面积均为基底层表面面积的95％以上。本实用新型耐高温的CO2激光增透膜，结构简单、设计精巧，第一氟化钇层、氟化镱钙层、硒化锌层和第二氟化钇层四层结合具有耐高温、高透过率、膜层牢固、膜层相互间应力互补、膜层不易破裂等特点，可满足元件连续在高温条件下作业的情况；各层所用材料均无放射性，不会对操作员以及环境造成损害。
基本信息
专利标题 ：
一种耐高温的CO2激光增透膜
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920499500.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-04-15
授权号 ：
CN210237752U
授权日 ：
2020-04-03
发明人 ：
李全民陈莉朱敏王国力吴玉堂
申请人 ：
南京波长光电科技股份有限公司
申请人地址 ：
江苏省南京市江宁区湖熟工业集中区波光路18号
代理机构 ：
南京中律知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
李建芳
优先权 ：
CN201920499500.2
主分类号 ：
C23C14/06
IPC分类号 ：
C23C14/06 C23C14/22 C23C14/28
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/06
以镀层材料为特征的
法律状态
2020-04-03 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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