本实用新型公开了一种增透膜清洗复用装置，属于增透膜清洗装置技术领域，通过将增透膜及基底光学元件采用夹具垂直放置在真空腔室内，真空腔室一端使用盲板密封，一端采用石英玻璃密封。启动真空机组，真空泵快速将腔体内气压降低至设定值使腔室内真空度满足等离子发生条件，进而由充气端口通入合适的反应气体如氧气、氩气等等。环绕分布在腔体内的电极由等离子体发生器控制产生等离子体场，等离子体作用于光学元件及其表面增透膜，最终使膜层达到去除增透膜表面有机污染物的使用目的。