一种红外宽带增透膜加工装置
授权
摘要
本实用新型所述的红外宽带增透膜加工装置，包括底座、设置在底座上用于调整基片位置的修正结构、以及设置在底座上并靠近修正结构的用于蒸发耗材的阻蒸镀膜结构；其中，所述阻蒸镀膜结构还与互感器、调节器、以及增大变压装置依次电性连接。本实用新型可以通过增大变压装置将功率加大，然后再通过调节器把电流通过互感器将电流传递给阻蒸镀膜结构实现耗材的高能蒸发，通过这样的方式实现了老真空镀膜机的改造以适合红外膜系的生产，大大降低了设备的购买成本。
基本信息
专利标题 ：
一种红外宽带增透膜加工装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021166007.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-06-22
授权号 ：
CN212426160U
授权日 ：
2021-01-29
发明人 ：
杨明政
申请人 ：
中山市兴盛光学五金有限公司
申请人地址 ：
广东省中山市火炬开发区中山港濠头园山村十二幢
代理机构 ：
广州海心联合专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
黄强
优先权 ：
CN202021166007.8
主分类号 ：
C23C14/26
IPC分类号 ：
C23C14/26 C23C14/54
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/24
真空蒸发
C23C14/26
电阻加热蒸发源法或感应加热蒸发源法
法律状态
2021-01-29 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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