本实用新型实公开了一种远红外硅基超透镜增透膜及超透镜，远红外硅基超透镜增透膜包括依次设置的基底层、Ge层、相互交替的ZnS层和YF₃层；其中所述Ge层和所述YF₃层不相邻，所述远红外硅基超透镜增透膜的最外层为ZnS层，所述Ge层、相互交替的所述ZnS层和所述YF3层的厚度之和大于300nm，所述远红外硅基超透镜增透膜除所述基底层外包括4层以上。通过在超透镜的平面基底和微纳结构面上镀增透膜来提高硅基超透镜在远红外波段的透过率。相比现有的红外超透镜，本实用新型的远红外硅基超透镜增透膜有效提高了超透镜的宽谱透过率，且膜层致密，膜层间应力相匹配、附着力强，且远红外硅基超透镜增透膜制备简单。