一种耐清洗的增透膜及其制备方法
实质审查的生效
摘要
本发明公开一种耐清洗的增透膜，其依次包括基底层、相互交替的SiO2层与Ti3O5层；其中，所述增透膜的最外层为Ti3O5层，相互交替的所述SiO2层与所述Ti3O5层的总光学厚度之和为4.8212±0.2，所述增透膜除所述基底层之外包括8层以上；还公开一种耐清洗的增透膜的制备方法。本发明基于常规的增透膜膜系结构，开创性地于增透膜的最外层增加一层Ti3O5层，以克服传统增透膜经多次清洗后最外层被腐蚀而引起分光反射率变化的问题，进而提高增透膜的耐腐蚀、光吸收和增透等性能，减小入射光的能量损耗；并且本发明公开的制备方法可优化各膜层之间的致密性和附着力，进而增强增透膜的宽谱透过率等光学性能。
基本信息
专利标题 ：
一种耐清洗的增透膜及其制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114318228A
申请号 ：
CN202111591238.2
公开（公告）日 ：
2022-04-12
申请日 ：
2021-12-23
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
严东
申请人 ：
贵州铜仁旭晶光电科技有限公司
申请人地址 ：
贵州省铜仁市高新技术产业开发区电商园二期
代理机构 ：
东莞市兴邦知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
杜梓娴
优先权 ：
CN202111591238.2
主分类号 ：
C23C14/10
IPC分类号 ：
C23C14/10 C23C14/24 C23C14/08 C23C14/02 G02B1/115
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/06
以镀层材料为特征的
C23C14/10
玻璃或二氧化硅
法律状态
2022-04-29 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C23C 14/10
申请日 : 20211223
申请日 : 20211223
2022-04-12 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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